(Merlin ZEISS)
装样
1)将12孔台子拿出来,用一字螺丝刀将上面的螺丝拧松,将透射电镜样品依次装进样品台。列好序号清单,将螺丝拧紧。
2)将样品台放入腔室,抽真空。
3)修改样品Stage Navigation软件界面上的Sample Holder,改成STEM 12x。
4)将样品台放到电子枪下方4-5mm,使黑色点放到正中心的位子,按住Ctrl再点击相应的序号可以使试样转到黑色的位置。
5)30KV,500PA,SE2/InLen在样品薄区聚焦清楚.
6)将样品移到holder(0,0)的位置,使用手杆移不动
伸进STEM探头
7)点击Smart SEM软件界面右侧边工具栏STEM Control,点击Insert,伸入探头
8)点击smart SEM界面上的crosshai图标,将参考线显示出来
9)用手拧腔室右侧的两个探测器位置旋钮左右、前后,调整探测器的中心在参考线的中心。
10)调节清楚焦距,将显示信号SEM/Inlen修改为STEM
11)可以根据需要,在STEM面板上将信号修改为明场/暗场,点击相应的S1,S2,S3形成不同的对比度。
12)拍照存储照片。
13)拍其他样品,按住Ctrl,在Stage Navigation软件界面点击相应的序号,可以原位转到相应序号。
结束收回样品台
14)关闭电压。修改电压电流为5KV,100PA。改回信号模式为SE2。
15)移动样品台到holder(0,0)按照1所示的路径
16)点击STEM面板上的retract收回探头。
17)将样品台移到exchange附近,点击exchange。取出样品。
18)将样品台Stage Navigation软件界面上的Sample Holder,改成SEM 9x。